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發布日期：2026年10月5日
PE無塵袋的Particle微粒與LPC液態微粒計數報告怎麼看？格森塑膠將解析0.3、0.5、1、5 μm粒徑、微粒數、累積計數、counts/mL與counts/cm²差異，以及半導體Cleanroom無塵袋IQC驗收時應確認的萃取方法、空白值、批次與允收規格
如果想先了解無塵袋的基本功能，可延伸閱讀：
👉PE無塵袋是什麼？功能、材質與高科技產業應用全指南
👉PE 無塵袋 vs. 一般 PE 袋差在哪？半導體與生技產業為何必須選用製程級無塵包裝
PE無塵袋／LPC檢測報告怎麼看？粒徑、微粒數與驗收重點解析
快速答案
PE無塵袋的潔淨度不能只用肉眼判斷，半導體與精密電子應用常透過 Particle微粒檢測 與 LPC（Liquid Particle Count，液態微粒計數） 評估袋體表面可被萃取出的微粒數量，但看LPC報告不能只看「0.5 μm有幾顆」，還必須一起確認萃取方法、液體體積、粒徑區間、計數單位、空白樣、測試面積與客戶允收標準，否則不同報告的數字可能根本不能直接比較
5個核心結論
- LPC不是在量空氣中的微粒，而是量萃取液裡的微粒
- 0.5 μm、1 μm、5 μm是粒徑門檻，不是潔淨室等級
- counts/mL、counts/cm²與counts/bag不能直接互相比大小
- LPC結果高度受到萃取方式、超純水、振盪／超音波條件與背景值影響
- 目前沒有一個全球通用數字規定所有PE無塵袋「0.5 μm必須小於多少才合格」，最終應以客戶規格與指定檢測方法驗收
哪些產品特別需要看Particle／LPC？
常見包括：
- 半導體設備清洗零件
- 晶圓相關載具與零件
- 真空腔體零件
- 精密金屬零件
- 光學元件
- 感測器
- PCB與精密電子零件
- 無塵室耗材
- 高潔淨原物料
- 精密組裝件
尤其產品已完成：
精密清洗 → 乾燥 → 潔淨包裝
之後，包裝袋本身如果帶入大量微粒，可能重新污染已經清潔完成的零件
延伸閱讀：
👉 PE無塵袋是什麼？功能、材質與高科技產業應用全指南
👉 回到最上層
LPC是什麼？PE無塵袋怎麼測微粒？
LPC全名是：Liquid Particle Count，液態微粒計數
基本原理通常是：
PE無塵袋樣品
↓
加入潔淨度受控的超純水
↓
以振盪、翻轉或超音波等指定方式萃取袋體表面的微粒
↓
取得萃取液
↓
送入液體微粒計數器
↓
依不同粒徑統計微粒數
SEMI目前公開的微污染測試方法開發資料，也採用超純水萃取後，以LPC量測粒徑及數量的技術概念；同時強調超音波能量、時間、水量、樣品位置與儀器條件必須一致，才有良好的比較意義
因此：
LPC數字不是袋子自己產生的一個固定常數，而是「樣品＋萃取方法＋分析條件」共同得到的結果
LPC報告上的0.3、0.5、1、5 μm是什麼？
μm是：Micrometre，微米
例如報告可能列：
| 粒徑 | 代表意義 |
|---|---|
| ≥0.3 μm | 0.3微米以上微粒 |
| ≥0.5 μm | 0.5微米以上微粒 |
| ≥1.0 μm | 1微米以上微粒 |
| ≥2.0 μm | 2微米以上微粒 |
| ≥5.0 μm | 5微米以上微粒 |
但要注意有些報告採用：Cumulative Count，累積計數
例如：
≥0.5 μm
代表所有0.5 μm以上的粒子
有些則使用：Differential Count，區間計數
例如：
0.5～1.0 μm。
所以比較兩家供應商以前，一定要先確認：數字到底是累積值還是區間值
Particle數字是不是越低越好？
在相同測試條件下，通常微粒數越低代表可萃取粒子污染較少
但不能直接拿A供應商：500 particles
跟B供應商：800 particles
就判斷A一定比較乾淨
還要確認：
- 粒徑相同嗎？
- 萃取水量相同嗎？
- 袋子尺寸相同嗎？
- 萃取面積相同嗎？
- 振盪時間相同嗎？
- 是否使用超音波？
- 儀器型號相同嗎？
- 單位相同嗎？
- 有沒有扣除Blank空白值？
如果這些條件不同，數字就可能沒有直接比較意義
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counts/mL、counts/cm²、counts/bag差在哪？
counts/mL
表示：每毫升萃取液中的微粒數
counts/cm²
表示：換算每平方公分袋體表面的微粒數
這種表示方式比較適合不同尺寸樣品之間比較
counts/bag
表示：整個袋子所量到或換算出的總微粒數
但袋子越大，總表面積也越大，因此大袋子通常不能直接跟小袋子比較總顆數
所以：
看LPC報告一定要先看單位，再看數字
ISO 14644可以直接規定PE無塵袋Particle嗎？
不能把兩件事混在一起
ISO 14644-1
主要規範Cleanroom空氣中的懸浮Particle濃度
而：
ISO 14644-9:2022
則是針對Cleanroom及受控環境中固體表面的Particle Cleanliness進行評估，適用粒徑範圍約0.05～500 μm，ISO也明確說明，這項標準並不直接定義某個特定製程的表面到底必須乾淨到什麼程度
因此：
ISO Class 5無塵室
不等於：PE袋0.5 μm一定要小於某個固定數字
這是兩套不同概念
延伸閱讀：
👉 無塵室用的袋子是什麼？無塵袋、抗靜電袋與潔淨包裝完整解析
👉 回到最上層
一份完整的LPC報告應該看哪些欄位？
建議確認：
| 項目 | 應確認內容 |
|---|---|
| 樣品名稱 | 是否為此次採購無塵袋 |
| Lot | 是否可追溯此次批次 |
| 袋子尺寸 | 影響總面積 |
| 測試面 | 內面／外面／全部 |
| 萃取液 | 超純水或其他指定液體 |
| 萃取水量 | mL |
| 萃取方式 | 振盪／超音波／沖洗 |
| 萃取時間 | 分鐘 |
| Particle Size | 0.3、0.5、1、5 μm等 |
| Unit | counts/mL、cm²或bag |
| Blank | 萃取液背景值 |
| Acceptance | 客戶允收標準 |
如果一份報告只有：
0.5 μm：800顆
其他什麼都沒有
其實很難判斷這800顆到底代表什麼
Blank空白值為什麼重要？
假設超純水、瓶子、管線本身就已經有 300 顆微粒
最後測到 800 顆
不能直接把800顆全部算成PE袋造成的污染
所以潔淨測試需要建立：Blank，空白樣
也就是：使用相同水、相同容器、相同程序，但不放測試袋
這樣才能知道：
測試系統自己帶進多少背景污染
PE無塵袋只驗LPC夠嗎？
不夠
LPC主要回答：
「袋子表面可以被帶下多少固體微粒？」
但是它不一定能回答：
- 有沒有醯胺？
- 有沒有矽油？
- 有多少離子？
- 有沒有非揮發殘留？
- 有沒有VOC？
- 高真空時會不會Outgassing？
格森既有產品知識庫也已特別說明，只看LPC可能漏掉有機與化學污染，因此高潔淨包材還需要依風險搭配FTIR、NVR、離子或Outgassing等檢驗
延伸閱讀：
👉 半導體無塵袋為什麼要避免滑劑、醯胺與矽油？添加劑對潔淨製程有什麼影響？
實際應用：兩份LPC報告怎麼比較？
假設：
供應商A：0.5 μm：500 counts/mL
供應商B：0.5 μm：300 counts/cm²
這兩個數字：
不能直接比較
正確方式應該先把：
- 採樣區 Sample Area
- 萃取體積 Extraction Volume
- 空白 Blank
- 粒子通道 Particle Channel
- 萃取程序 Extraction Procedure
統一
必要時換算成相同單位，才能進行真正比較
採購／工程／IQC驗收重點
PE無塵袋IQC建議不要只寫：
Particle ＜1000
而應寫：
粒徑＋數量＋單位＋測試方法＋樣品面積＋允收值
例如概念上可以寫成：
≥0.5 μm微粒｜指定萃取方法｜counts/cm²｜依客戶Spec
這樣供應商、第三方實驗室與IQC才使用同一套語言
另外還要決定：
- 每批都測？
- 定期驗證？
- 型式試驗？
- 第三方年度驗證？
- COA每Lot提供？
依風險決定即可，不是每個項目都一定要每批第三方檢測
👉 回到最上層
格森塑膠實務經驗
格森塑膠目前PE無塵袋公開資料已有Particle第三方檢測、FTIR、離子及其他潔淨資訊，並應用於半導體、光電、設備清洗等高潔淨用途
實務上如果客戶只說：
「我要0.5 μm低於1000」
格森仍會建議再確認：
1000的單位是什麼？
是：
counts/mL？
counts/cm²？
還是整袋？
另外還應確認：
用什麼方式把Particle從袋子上萃取下來？
只有把這些條件定義清楚，LPC才真正能變成IQC規格，而不是只有一個漂亮數字
檢驗資料／技術來源
ISO 14644-9:2022
用於固體表面的Particle Cleanliness評估，適用約0.05～500 μm微粒，但不直接替各產業設定特定產品的允收值
ISO 14644-1
管理的是Cleanroom空氣Particle濃度，因此不能直接當作PE袋LPC允收標準
SEMI微粒分析方法開發
SEMI公開資料顯示，超純水萃取配合LPC可用來量測表面可萃取微粒，且測試時間、水量、超音波條件及儀器一致性都會影響比較
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常見問題Q&A：PE無塵袋Particle／LPC
Q1：LPC是什麼？
LPC是Liquid Particle Count，液態微粒計數，通常把袋體表面微粒萃取到液體中再進行粒徑與數量分析
Q2：0.5 μm小於1000就是國際標準嗎？
不是，必須同時確認單位、方法及客戶規格，不能把一個數值當成所有無塵袋的全球標準
Q3：ISO Class 5代表袋子的Particle一定更低嗎？
不能直接這樣推論，ISO Class主要描述Cleanroom空氣潔淨度
Q4：LPC數字越低越好嗎？
相同測試條件下通常越低表示粒子污染較少，但不同方法或單位不能直接比較
Q5：為什麼要看Blank？
因為超純水、容器及測試設備本身也可能有微粒，需要知道背景值
Q6：只驗袋子內面就可以嗎？
如果內面直接接觸產品，通常最重要；但外袋若會進Cleanroom，也可能需要評估外表面
Q7：LPC可以測出矽油或醯胺嗎？
不能直接證明，這類化學污染應搭配其他分析方法
Q8：LPC可以取代FTIR嗎？
不能，LPC量粒子，FTIR主要分析材料化學結構與官能基
Q9：每批都一定要做LPC嗎？
不一定，可依產品風險、客戶要求及供應商控制能力制定Lot、定期或型式驗證
Q10：詢問格森PE無塵袋時要提供Particle規格嗎？
如果有客戶LPC規範，建議直接提供原始報告或Spec，尤其要保留粒徑、單位與測試方法
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