發布日期:2026年10月5日
 
PE無塵袋為什麼要做FTIR?
格森塑膠將解析FTIR傅立葉轉換紅外線光譜可以辨識PE材質、官能基與部分添加物,也說明FTIR不能直接證明Particle、離子污染、VOC、Outgassing或所有物質絕對不存在,幫助半導體採購與IQC正確閱讀FTIR報告

如果想先了解無塵袋的基本功能,可延伸閱讀:
👉PE無塵袋Particle/LPC檢測報告怎麼看?粒徑、微粒數與IQC驗收重點|格森塑膠
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半導體無塵袋為什麼要避免滑劑、醯胺與矽油?添加劑對潔淨製程有什麼影響?
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PE無塵袋FTIR檢測可以看出什麼?又有哪些東西FTIR不能直接證明?

快速答案

FTIR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy,傅立葉轉換紅外線光譜)可以透過材料吸收紅外線時產生的特徵光譜,協助判斷PE無塵袋的主要聚合物、官能基及部分有機添加物是否存在明顯特徵,但FTIR不是「萬能污染檢測」,它不能單獨證明材料完全沒有某項微量物質,也不能取代Particle、離子污染、NVR、VOC或Outgassing檢測。因此半導體包材規格應先問「我要找什麼污染」,再決定要不要用FTIR

5個核心結論

  1. FTIR最適合做材料辨識、官能基分析與配方差異篩查
  2. FTIR可以看見某些添加物特徵,但必須高於方法的偵測能力
  3. 「沒有看到特徵峰」不能直接寫成「絕對零含量」
  4. FTIR不能直接告訴你袋子有多少Particle、離子或VOC
  5. 高潔淨半導體包材應把FTIR當成其中一項證據,而不是唯一證據

哪些情況適合做FTIR?

常見包括:

  • 確認袋材是不是PE
  • 比較不同批次材料光譜
  • 判斷材料是否出現異常化學結構
  • 篩查部分有機添加物
  • 比對競品或既有合格樣
  • 分析污染斑點
  • 確認材料老化或氧化特徵
  • 協助判斷表面析出物

對半導體無塵袋而言,

常見關注物質包括:

  • Silicone Oil,矽油
  • Amide,醯胺
  • Surfactant,界面活性劑
  • Plasticizer,可塑劑
  • Slip Agent,滑劑
  • Processing Aid,加工助劑

FTIR的基本原理是什麼?

不同化學鍵在受到紅外線照射時,會在不同波數產生:

Absorption Peak,吸收峰

因此每種高分子材料與官能基,都會形成一定程度的光譜特徵

例如PE主要由:

C–H鍵 構成

其光譜會呈現典型聚乙烯特徵

如果材料中又存在:

  • 羰基
  • 醯胺
  • 矽氧結構
  • 酯類
  • 芳香環

則可能在其他區域出現相對應的特徵峰

所以FTIR很適合回答:

「這個材料大致是什麼?」

以及:

「這批材料跟參考樣品有沒有明顯化學差異?」

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FTIR可以確認PE袋是不是PE嗎?

可以協助確認

如果測試光譜與:PE Reference Spectrum,PE參考光譜

高度吻合,就能支持材料主要基材為PE的判斷

但如果要進一步區分:

  • LDPE
  • LLDPE
  • HDPE

單靠一般FTIR有時並不足以完整區分所有配方差異

實務上可能還需要:

  • DSC熱分析
  • Density密度
  • 熔融指數
  • 其他材料分析

一起判斷

FTIR可以看出滑劑或醯胺嗎?

有機會,但不能保證任何濃度都看得到

例如某些Amide類滑劑具有特定官能基吸收峰

如果:

  • 含量足夠
  • 表面累積足夠
  • 光譜與PE主峰沒有嚴重重疊
  • 儀器靈敏度足夠
  • 取樣位置正確

就可能被辨識

但高分子添加物分析的研究指出,FTIR雖然是很實用的官能基與添加物分析工具,但實際分析會受到峰重疊、寬峰、材料基材干擾、參考資料及物質是否具有紅外線活性等限制

因此報告最安全的說法通常是:

「在本測試條件與偵測能力下,未觀察到明顯特徵峰」

而不是直接寫:

「絕對不含任何醯胺」

FTIR可以證明「完全沒有矽油」嗎?

不能只靠一張FTIR光譜做無限上綱的結論

如果矽類物質:

  • 含量很低
  • 分布不均
  • 只存在局部表面
  • 低於偵測能力
  • 峰值受到其他材料遮蔽

都可能無法明顯辨識

所以:

Not Detected,未檢出

與:

Zero Content,零含量

不是同一個概念

這對半導體採購規格非常重要

FTIR能不能直接測Particle?

不能

Particle關注的是微粒數量與粒徑

應使用:LPC(Liquid Particle Count,液態微粒計數)

或其他適當的微粒分析方法

FTIR則關注:化學結構

兩個方法解決的是不同問題

FTIR可以直接測離子污染嗎?

不能

例如半導體製程常關注:

  • Na⁺,鈉離子
  • K⁺,鉀離子
  • Cl⁻,氯離子
  • F⁻,氟離子
  • NO₃⁻,硝酸根
  • SO₄²⁻,硫酸根

這些通常需要經過水萃取,再使用:

IC(Ion Chromatography,離子層析)

等方法分析

FTIR並不是主要的離子定量工具

FTIR可以直接測VOC或Outgassing嗎?

不能直接取代

VOC是:Volatile Organic Compounds,揮發性有機化合物

Outgassing是:氣體析出

這類污染重點是材料在指定:

  • 時間
  • 溫度
  • 真空
  • 氣流條件

下實際釋放出了什麼

可能需要:

  • GC-MS氣相層析質譜
  • Headspace頂空分析
  • Thermal Desorption熱脫附
  • 真空Outgassing方法

等方式

ASTM E595-15(2021)就是一項真空環境Outgassing篩選方法,會測量TML與CVCM,但它原本是針對真空/航太材料的篩選方法,不能直接宣稱為所有半導體PE袋唯一的Outgassing標準


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FTIR、LPC、NVR、離子與Outgassing差在哪?

常見半導體包材微污染檢驗方法與核心問題對照表
檢驗主要回答問題
FTIR材料是什麼?有哪些明顯官能基?
LPC有多少可萃取微粒?
NVR有多少不揮發的可萃取殘留物?
離子污染有多少可萃取離子?
VOC會釋出哪些揮發性有機物?
Outgassing指定條件下會釋出多少氣體/凝結物?

因此:

不是哪一種檢驗最好,而是哪一種最符合你的污染風險

ATR-FTIR與一般FTIR有什麼差別?

包材分析常見:

ATR-FTIR,衰減全反射傅立葉轉換紅外線光譜

其特色是:

樣品不需要複雜前處理,可以直接分析材料表面附近的化學特徵

因此對:

  • 表面析出
  • 薄膜
  • 塑膠袋
  • 污染斑點

相當實用

但ATR本身主要看的是:表面附近有限深度

所以如果污染物只存在袋體另一面,或深藏於材料內部,量測位置就會影響結果

實際應用:供應商FTIR報告怎麼比較?

假設A與B都說:無醯胺

不要只看結論

還應確認:

  • 測試面是哪一面?
  • ATR還是其他模式?
  • 樣品Lot?
  • 是否有Reference?
  • 是否有完整Spectrum?
  • 分析的是原料、膜材還是成品袋?
  • 偵測限制是什麼?

如果A測:成品袋內面,而B只測:PE樹脂原料,兩份報告的證明力並不相同

採購/工程/IQC怎麼規範FTIR?

比起只寫:

「FTIR合格」

更建議寫成:

測試樣品+測試面+分析目的+參考樣+判定方式

例如:

PE無塵袋成品內表面FTIR光譜應與核准Golden Sample無明顯異常差異,且指定關注物質不得出現超出客戶判定條件之特徵峰

這樣比:

「不能有任何污染」

更容易真正驗收

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格森塑膠實務經驗

格森目前PE無塵袋公開資料已包含FTIR及微粒等相關檢測資訊,並特別關注Silicone Oil、Amide、Surfactant等高潔淨應用常見污染來源

對半導體採購而言,

格森建議不要把FTIR解讀為:

「做了FTIR=什麼污染都沒有」

更合理的方式是:

FTIR負責材料與有機官能基篩查

再搭配:

LPC+離子+NVR+必要的VOC/Outgassing

建立完整的污染控制證據


檢驗資料/技術來源

FTIR添加物分析限制

2026年聚合物添加物分析綜述指出,FTIR可用於官能基與部分添加物辨識,但峰重疊、IR活性、材料基材及資料庫都會影響定性與定量能力

ISO 14644-10:2022

針對受控環境中的Surface Chemical Cleanliness建立化學污染評估框架,適用於分子、離子與元素等表面化學污染

ASTM E2312-11(2026)

提供Cleanroom Material不同性能測試方法的評估指引,但本身不是要求所有Cleanroom材料必須採用同一套單一檢驗

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常見問題Q&A:PE無塵袋FTIR

Q1:FTIR可以證明袋子是PE嗎?

可以作為主要材料辨識的重要工具之一

Q2:FTIR可以區分LDPE和HDPE嗎?

某些結構差異可能反映於光譜,但通常不建議單靠一般FTIR作唯一分類依據

Q3:FTIR沒有醯胺峰,就代表完全0 ppm嗎?

不能直接這樣解讀,只能表示在該測試條件及偵測能力下沒有觀察到相應明顯訊號

Q4:FTIR可以測Particle嗎?

不能,Particle應使用LPC或其他適當微粒分析

Q5:FTIR可以測離子嗎?

不適合作為半導體包材離子污染的主要定量方法

Q6:FTIR可以測NVR嗎?

不能直接等同NVR;NVR通常需要溶劑萃取及重量分析等方法

Q7:FTIR可以證明沒有VOC嗎?

不能,VOC需要適合的氣相分析方法

Q8:原料FTIR合格就代表成品袋一定合格嗎?

不一定,成品還經過吹膜、加工、封切、清潔、搬運及包裝

Q9:FTIR要測袋子哪一面?

應依產品接觸風險決定,直接接觸精密產品的內面通常更需要關注

Q10:詢格森無塵袋時可以要求FTIR嗎?

可依客戶規格與實際應用評估,最好同時說明希望確認的材料或污染物

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