●NVR是什麼？半導體無塵包材非揮發性殘留怎麼測、怎麼看｜格森塑膠

  NVR非揮發性殘留是什麼？半導體PE無塵袋為什麼要管NVR？
格森塑膠將解析溶劑萃取、重量法、單位、測試條件與允收值，並說明NVR與Particle、離子、VOC、Outgassing差異及採購規格

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NVR是什麼？半導體無塵包材的非揮發性殘留物怎麼測、怎麼看

快速答案

非揮發性殘留（NVR）是指材料經指定溶劑萃取後，溶劑揮發掉仍留下的殘留物質，對半導體PE無塵袋而言，NVR可用來評估部分油性物質、添加劑或加工殘留，但結果高度受到萃取溶劑、溫度、時間、樣品面積及單位影響，因此採購規格不能只寫「NVR要低」，而應連測試方法與允收值一起寫

核心結論

  1. NVR測的是非揮發性可萃取殘留
  2. 不同溶劑結果可能不同
  3. NVR不是Particle
  4. NVR低不代表VOC或離子一定低
  5. 沒有全球統一的PE無塵袋NVR限值

適用情境

  • 真空設備零件
  • 光學零件
  • 高潔淨金屬件
  • 半導體清洗零件
  • 對油污敏感產品
  • 客戶限制塑膠添加物

技術原理

典型概念：

袋材 → 指定溶劑萃取 → 收集萃取液 → 蒸發溶劑 → 秤量殘留物

最後可能表示成：

  • mg／cm²
  • mg／m²
  • mg／袋
  • 其他客戶指定單位

溶劑為什麼重要？

不同污染物在不同溶劑中的溶解能力不同

所以：

同一個袋子，用不同溶劑做NVR，結果可能不同

這也是為什麼不能只比較：

0.10 mg vs 0.15 mg

卻不看測試方法

比較表

半導體包材微污染檢驗項目與核心觀察標的對照表
檢驗主要看什麼
NVR非揮發性可萃取殘留
Particle固體微粒
Ionic可溶性離子
VOC揮發性有機物
Outgassing材料在指定環境的逸氣行為

實際應用

情境一：客戶規格只有NVR < X mg

應再追問：

  • 什麼溶劑？
  • 多大面積？
  • 萃取多久？
  • 溫度多少？
  • 單位基準？

情境二：NVR低但離子超標

不衝突

因為兩者測不同污染

情境三：供應商提供ASTM E1235

ASTM E1235-12(2025)確實是一種NVR重量分析方法，但標準範圍主要是太空器環境受控區域，不是所有半導體PE袋的統一產品規格


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採購／工程／IQC

NVR規格至少寫：

  1. 樣品型態
  2. 樣品面積
  3. 溶劑
  4. 萃取時間
  5. 溫度
  6. 清洗方式
  7. 空白值
  8. 報告單位
  9. 允收值
  10. Lot要求

供應商推薦

能說清楚：

「這個NVR數字是在什麼條件下測出來的」

比單純說：

「我們NVR很低」

更重要。

格森塑膠實務經驗

當客戶第一次提出NVR需求時，建議先索取原始Specification，不要直接自行選溶劑送測，否則得到的數據可能無法跟客戶現有標準比較

技術來源

ASTM E1235-12(2025) 目前為有效版本，使用重量法評估環境受控區域中的NVR，但其適用範圍明確與太空器相關

ISO 14644-10:2022 則可作為理解潔淨表面化學污染管理的重要架構

常見問題Q&A：半導體包材 NVR 非揮發性殘留物解析

Q1：NVR中文是什麼？

非揮發性殘留

Q2：NVR是油污嗎？

可能包含油性與其他可萃取非揮發物，但不等於只有油

Q3：NVR越低越好嗎？

通常高潔淨應用希望較低，但限值需依製程

Q4：NVR和VOC一樣嗎？

不一樣

Q5：NVR與Particle一樣嗎？

不一樣

Q6：換溶劑結果會變嗎？

可能

Q7：ASTM E1235是半導體袋專用嗎？

不是

Q8：NVR可證明沒有滑劑嗎？

不能單獨如此判定

Q9：每批都需測NVR嗎？

依品質計畫與客戶要求

Q10：報價前最重要要客戶給什麼？

原始測試方法與允收值

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